交流电桥电路的其中两个桥臂是电容式传感器，如果电容式传感器由于外界因素影响产生电容的变化，电桥电路将会失去平衡，此时电容的变化就转化成电压的变化输出。电桥电路可以分为电阻-电容、电感-电容组成的交流电桥电路，谐振电路的频率变化经过鉴频器转换成电压信号的变化，最后经过放大器放大输出。

　　这种测量电路的灵敏度很高，最小可测0.01um的位移变化量，具有较高的抗干扰能力。而相比光电开关它的缺点是受电缆电容、温度变化影响较大，输出电压u。与被测量的特性曲线是非线性的，需要校正电路进行校正，因此导致电路更加复杂。