半导体陶瓷湿敏元件主要用多孔状金属氧化物材料制成。这类元件都是利用其表面多孔性来吸湿，并在吸附水分子后使得其电导率改变这一原理来检测湿度的。

　　若半导体陶瓷湿敏元件的电导率随湿度的增加而下降，则称为负特性湿敏半导体陶瓷;相反，若电导率随湿度增加而上升，则称为正特性湿重复半导体陶瓷。

　　由MGCR2O4-TIO2固熔体组成的多孔性半导体陶瓷湿敏元件是较常用的一种接近开关湿敏器件。这种半导体陶瓷材料的表面电阻值能在很宽范围内随湿度增加而变小，即使在高湿条件下进行多次反复热清洗，其性能仍不改变。下面以这种元件为例先容这类湿度接近开关传感器。