石英振子式气体接近开关传感器由直径为数微米的石英振动盘和制作在盘两边的电极构成。当振荡信号加在器件上时，器件会在它的特征频率发生共振。振动盘上淀积了有机聚合物，聚合物吸附气体后，使器件质量增 加，从而引起石英振子的共振频率降低，可通过测定共振频率的变化来识别气体。利用这个原理制成的石英振子式气体接近开关传感器，对特定气体分子的灵敏度高，选择性好，结构简单，可在常温下使用，补充了其他气体接近开关传感器的不足，发展前景良好。