电容式传感器的工作原理是以平板电容器为例来说明电容式传感器的工作原理。忽略电容器边缘效应，平板电容器其电容量为式中的C为电容量;S为极板以面积;D为极板间的距离;E为极板间介质的介电常数，ER为极板间介质的相对介电常数。

　　电容值C都会随之变化，从而可使其测量电路的输出电压或输出电流发生相应的变化，这就是电容式传感器的工作原理。

　　它与光电开关传感器相比是有很大差异性的，在电容式传感器视为理想状态下的纯电容得到的，所以其工作环境不适用于高温、高湿条件，而且电容有电感效应，所以一般适用于低频工作环境，所以式在大多数使用情况下是允许的。